用發(fā)生法生產(chǎn)電子級氯化氫
發(fā)布時(shí)間：2021-06-18 17:22:06
打印 電子級氯化氫主要用于外延生長(cháng)前硅和砷化鎵的高溫氣相刻蝕，去除鈉離子。此外，高純氯化氫還用于金屬表面的化學(xué)處理、激光混合氣體、制膜和碳纖維表面處理。
過(guò)去，我國大部分從美國、日本等國家進(jìn)口電子級氯化氫。然而，近年來(lái)，我國電子工業(yè)所需的化學(xué)氣體的開(kāi)發(fā)有了許多突破和發(fā)展。那么電子級氯化氫怎么制備呢？接下來(lái)具體看一下。
H2SO4+NaCl=NaHSO4+HCl
H2SO4+2NaCl加熱 Na2SO4+HCl
加熱Na2SO4 HCl世紀70年代以前，電子工業(yè)用高純氯化氫的制備是將濃硫酸滴入濃鹽酸中吸收其中的水分，使過(guò)飽和氯化氫氣體析出。從20世紀70年代到80年代初，制備方法發(fā)展到用濃硫酸與焙燒鹽反應生成
高純度氯化氫氣體，然后用壓縮機壓入鋼瓶。
